Korvus Technology entwirft und fertigt die HEX-Serie hochmodularer Dünnschicht-Beschichtungsanlagen für 100mm bis 200mm Substrate. Das HEX, HEX-L und das neue HEX-XL bieten eine unübertroffene Benutzerfreundlichkeit und erlauben eine jederzeit den experimentellen Anforderungen anpassbare Konfiguration - egal ob das System ursprünglich als Sputter-, E-Beam-, OLED, Thermische Verdampfungsanlage oder auch in einer Kombination dieser Prozesse konfiguriert wurde. Die Modularität und Flexibilität des HEX machen es zum idealen Werkzeug für jedes Labor, jeden Reinraum und auch die Integration in eine Handschuhbox ist jederzeit möglich.
Alle sechs Seitenwände sind abnehmbar und können mit einer Aufdampfquelle bestückt werden, so dass eine gleichzeitige Abscheidung auch mehrerer Materialien sogar mit verschiedenen Prozessen möglich ist, ohne das Vakuum zu brechen.
Die HEX-Serie wird in Universitäten und Laboren weltweit für Anwendungen in der Erforschung neuer Materialien, wie zur Sputterabscheidung, Kontaktmetallisierung, Beschichtung elektrischer Kontakte, für Lift-Off Verfahren mit Fotolacken, EM-Probenvorbereitung und sogar in der Lehre eingesetzt.
Die Vakuumbeschichtungsanlagen von Moorfield Nanotechnology richten sich an Forschungslabore, aber auch an die industrielle Produktion im Pilotmaßstab sowie an High-End-Institutionen. Systemdesigns basieren auf langjähriger Erfahrung, was zu spezifischen Lösungen führt, die sich ideal für F&E-Umgebungen mit sich ändernden technischen Anforderungen eignen.
Das Portfolio besteht aus MiniLab-Anlagen, die häufig kundenspezifische Konfigurationen darstellen, sowie aus der standartisierten nano-Serie. Alle Systeme können mit zahlreichen Komponenten zur Abscheidung von Metallen, anorganischen und organischen Stoffen bestückt werden. Die MiniLab-Anlagen können als eigenständige Einheiten aufgebaut oder mit Handschuhboxen kombiniert werden, wenn Inertgasatmosphäre erforderlich ist.
Ebenso offeriert hat Moorfield Nanotechnology Systeme zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) zur zielgerichteten Herstellung von Graphen und Kohlenstoffnanoröhren (CNTs). Die Systeme ermöglichen die notwendige skalierbare und kosteneffiziente Synthese hochwertiger Materialien.
Theris Nanotechnology bietet ein breites Spektrum an Anlagen zur UHV-Nanopartikelabscheidung. Das Unternehmen mit Sitz im Südwesten Großbritanniens wurde von einem Team mit langjähriger Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung innovativer Instrumente für die Dünnschichtabscheidung gegründet. Theris vertreibt seine Produkte international und bietet umfassenden technischen Support sowie Installationsservice.
Die Produkte von Theris ermöglichen die Herstellung hochreiner und größenvorselektierter Nanopartikelfilme. Weitere Komponenten unterstützen die Produktion von Legierungen mit hoher Entropie und zusammengesetzter Nanostrukturen. Die Instrumente und die kundenspezifische Software von Theris ermöglichen die einfache Steuerung modernster und komplexer Prozesse.
Theris vereint umfassende Expertise in der Nanopartikelformierung und -abscheidung mit fundierten Kenntnissen aller gängigen Abscheidungstechniken (einschließlich PVD, ALD, MBE und PLD).
