Korvus Technology entwirft und fertigt mit seiner HEX-Familie hochmodulare Dünnschicht-Beschichtungsanlagen für 100mm bis 200mm Substrate. Das HEX, HEX-L und das neue HEX-XL bieten eine unübertroffene Benutzerfreundlichkeit und erlauben eine jederzeit den experimentellen Anforderungen anpassbare Konfiguration - egal ob das System ursprünglich als Sputter-, E-Beam-, OLED, Thermische Verdampfungsanlage oder auch in einer Kombination dieser Prozesse konfiguriert wurde. Die Modularität und Flexibilität des HEX machen es zum idealen Werkzeug für jedes Labor, jeden Reinraum und auch die Integration in eine Handschuhbox ist jederzeit möglich.
Alle sechs Seitenwände sind abnehmbar und können mit einer Aufdampfquelle bestückt werden, so dass eine gleichzeitige Abscheidung auch mehrerer Materialien sogar mit verschiedenen Prozessen möglich ist, ohne das Vakuum zu brechen.
Die HEX-Serie wird in Universitäten und Laboren weltweit für Anwendungen in der Erforschung neuer Materialien, wie zur Sputterabscheidung, Kontaktmetallisierung, Beschichtung elektrischer Kontakte, für Lift-Off Verfahren mit Fotolacken, EM-Probenvorbereitung und sogar in der Lehre eingesetzt.
Die Vakuumbeschichtungsanlagen von Moorfield Nanotechnology richten sich an Forschungslabore, aber auch an die industrielle Produktion im Pilotmaßstab sowie an High-End-Institutionen. Systemdesigns basieren auf umfassender Modularität, was zu spezifischen Lösungen führt, die sich ideal für F&E-Umgebungen mit sich ändernden technischen Anforderungen eignen.
Das Portfolio besteht zum einen aus der nano-Serie mit Starterplattformen und Tischgeräten, zum anderen aus MiniLab-Anlagen für bis zu 280mm Substratdurchmesser, die häufig als kundenspezifische Konfigurationen ausgelegt werden. Alle Systeme können mit zahlreichen Komponenten zur Abscheidung von Metallen, anorganischen und organischen Stoffen bestückt werden. Die Anlagen können als eigenständige Einheiten aufgebaut oder mit Handschuhboxen kombiniert werden, wenn Inertgasatmosphäre erforderlich ist.
Ebenso hat Moorfield Nanotechnology Systeme zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) entwickelt, die eine einfache Herstellung der sog. „Wundermaterialien“ Graphen und Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) ermöglichen. Die Systeme ermöglichen die für die zukünftige Kommerzialisierung von Kohlenstoff-Nanomaterialien notwendige skalierbare und kosteneffiziente Synthese hochwertiger Materialien.
