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Korvus Technology

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Über Korvus Technology

Korvus Technology entwickelt und produziert Bedampfungssysteme für dünne Schichten, die unter dem Namen HEX bekannt und als Tischgeräte einsetzbar sind. Korvus Technology steht für mehr als 20 Jahre Erfahrung im Markt für Dünnschicht-Technologie sowie im Design und der Produktion von Hoch- bzw. Ultrahochvakuum Bedampfungsanlagen. Die HEX Plattform bietet ein ansonsten bisher unerreichtes Maß an Nutzerfreundlichkeit und Flexibilität, wobei sie gleichzeitig für modernste Dünnschicht-Technologien mit hoher Leistungsfähigkeit ausgelegt ist.

Die Systeme können sowohl manuell als auch automatisiert in Verbindung mit einem großen Spektrum an unterschiedlichen Bedampfungskomponenten betrieben werden. Elektronenstrahlverdampfer (1 oder 4 Zellen), RF & DC Sputterquellen, Niedrigtemperaturquellen für organische Materialien oder klassische thermische Verdampfer stehen zur Auswahl. Darüberhinaus sind Optionen wie Schwingquarzmikrowaage, Hochvakuumschleuse sowie heiz-, kühl-, drehbare und statische Probenaufnahmen verfügbar.

HEX Systeme können aufgrund ihrer Flexibilität als Sputtersystem, als Elektronenstrahl- oder OLED-Anlage sowie mit thermischen Verdampfern konfiguriert werden. Jedes der sechs Seitenpanele kann mit jedem der o.g. Beschichtungsquellen bestückt werden. In der Kombination der Methoden sind vielfältige Multi-Schicht-Prozesse möglich, ohne das Vakuum zwischenzeitlich zu brechen.

In-situ Messtechnik ist ebenfalls optional für sämtliche HEX Modelle verfügbar, wobei verschiedene optische und spektroskopische Verfahren zur Anwendung kommen. Obendrein können die Systeme für Arbeiten unter Schutzgasatmosphäre in sog. Handschuhboxen integriert werden.

Die HEX Modelle werden von Universitäten und Laboren in aller Welt für die Erforschung neuer Materialien, zur Sputter-Beschichtung und Metallisierung von Kontakten sowie zur Probenvorbereitung für die Elektronenmikroskopie verwendet. Zusätzlich werden die HEX Systeme ebenso für die Lehre und zu Trainingszwecken beschafft. Die Modularität des HEX und die überaus einfache Bedienbarkeit machen es zu einem idealen Tool für Reinraumanwendungen und perfekt für Dünnschicht-Trainingsprogramme.

Für weitere Informationen über das komplette Spektrum von HEX Systemen und Komponenten kontaktieren Sie bitte sales@picovac.de oder besuchen Sie www.korvustechnology.com.

Krovus Technology

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Martin Oertel picovac
Dr. Martin Oertel
Ziegelhüttenweg 30a
65232 Taunusstein, Deutschland